科慕Krytox™ 高性能润滑剂，精护半导体高质生产

       当工业生产从1.0迈向4.0，智能化科技逐步替代了传统生产力，但无论是古旧的蒸汽机，还是被誉为现代科技“皇冠上的明珠”的芯片，润滑剂在关键的生产制造装备及核心部件上都承担着减少磨损、提高效率的重要职责，历久弥新。

　　随着产业升级高性能润滑剂发挥的作用日益显著尤其是在高精尖技术密集的半导体产业

　　材料兼容，广泛应用保障设备精准运转从光刻机的微米级移动，到离子注入机的精准控制，任何微小的误差都可能导致芯片性能的大幅下降。高性能润滑剂能高效润滑设备及部件，确保操作顺畅，达到设计精度，为芯片的高质量生产奠定基础。

　　得益于自身的卓越性能，Krytox™ 高性能润滑剂已被广泛应用于半导体行业的各种工艺环节，包括光刻、沉积、刻蚀、扩散和离子注入等。

       与此同时，半导体制造环境中包括弹性体、聚合物、金属及涂层等多种材料。润滑剂需要与这些材料良好兼容，才可保证设备的正常运行。

　　Krytox™ 高性能润滑剂即使是在含有强氧化剂、强酸强碱、活性气体自由基、易燃易爆气体的环境中，也能与不同的材料和谐共处，确保了晶圆处理的关键部件的可靠性，最大程度提高设备的性能和使用寿命。Krytox™ 高性能润滑剂是半导体制程中各种气动部件、导轨、阀门、轴承及密封润滑的不二选择。

　　低挥发，强稳定捍卫洁净生产环境除了减少磨损，润滑剂的另一大容易被忽视的作用，则是通过润滑介质防止磨屑破坏设备。芯片的生产环境需要达到洁净室水平，反应腔室内的任何微小颗粒都可能会附着在硅片表面，形成污染，同时对于生产中使用的各种介质的纯度也有着非常严苛的要求。因此，润滑剂自身的稳定性、惰性和润滑性，也是半导体设备制造商的重点考量对象。

　　Krytox™ 高性能润滑剂不含挥发性有机化合物 (VOC) 或氯，在高真空环境下的挥发极低。Krytox™ 高性能润滑剂具有显著的化学惰性、生物惰性，以及与半导体制造环境中常用材料（如硅、光刻胶等）之间的兼容性，确保其本身不会在半导体生产过程中发生化学反应，有效维持生产过程的高洁净度，为敏感的电子元器件提供稳定的工作环境。Krytox™ 高性能润滑剂不会被各种气体或液体介质溶解或与之反应，保证各种介质的高纯度，减少污染。

其中，Krytox™ GPL 系列产品可用于各种流体介质传送部位的连接与密封，减少泄漏和污染，并被大量应用于隔膜阀、调压阀、单向阀、波纹管阀等部件的润滑与密封。

　　无畏高温，无惧压力应对极端生产条件半导体生产之所以挑战重重，除了对生产工艺的高精度需求，许多工艺环节都涉及极端的工作条件，如高温、高压、高真空、强酸碱等。这对润滑剂的性能也提出了苛刻的要求。

　　Krytox™ 高性能润滑剂具有卓越的耐高温、低蒸气压性能。Krytox™ LVP 高真空脂可在 -15℃ 至 300℃（5℉ 至 572℉）温度范围内工作，不会因为温度的变化而发生爆炸、助燃、分解或反应生成胶状或固体沉积物，为设备提供持久保护，广泛用于真空系统中各种阀门如隔离阀、控制阀、传输阀及轴承的密封与润滑，是各大知名阀门制造商的首选。在部分采用特殊气体的工艺环节，需要保持稳定的真空控制，并严格限制油污染。Krytox™ VPF 系列真空泵油高度匹配需求，其独特的屏蔽型分子结构，不易被半导体制程中的路易斯酸影响，从而更长效地为保护设备免受损害，延长使用寿命。能显著降低真空泵故障频率，延长换油周期，提升安全性的同时，增强系统的可靠性，得到各大知名真空泵厂商的认可。

此外，在碳氢类润滑脂、硅类润滑脂和氯氟碳类润滑脂无法适应的环境中，Krytox™ 高性能润滑剂能为半导体制造的各个环节提供润滑防护，比如磁流体轴承的真空侧润滑、高温炉中调节丝杠的润滑、机械臂的轴承和面板传输的滑轨润滑等。

　　在半导体制造这个高科技、高精度的领域里，润滑剂的存在看似微小，但作用却不可小觑。Krytox™ 高性能润滑剂，不仅保障着设备的精度，维持了生产环境的高洁净度，也为半导体制造的高效、稳定运行提供了有力支持。